真空電弧的熄滅是基于利用高真空度介質的高的絕緣強度和在這種稀薄氣體中電弧生成物（帶電粒子和金屬蒸汽）具有很高的擴散速度，因而使電弧電流過零后觸頭間隙的介質強度能很快恢復起來的原理而實現的，燃弧過程中的金屬蒸汽和帶電粒子在強烈的擴散中為屏蔽罩所冷凝，帶螺旋槽的跑弧面使電弧沿切線方向快速移動，從而降低了主觸頭表面的溫度，所以其絕緣恢復速度很快，從而在電流過零時迫使電弧熄滅。

真空斷路器:高壓真空斷路器內部結構圖

絕緣筒、軟連接、絕緣拉桿、四連桿機構、上支架、下支架、四連桿機構、分閘電磁鐵、下出線座、斷路器殼體、合閘凸輪、真空滅弧室、碟簧、分閘彈簧。

高壓斷路器的主要結構大體分為:導流部分，滅弧部分，絕緣部分，操作機構部分。高壓開關的主要類型按滅弧介質分為:油斷路器，空氣斷路器，真空斷路器，六氟化硫斷路器，固體產氣斷路器，磁吹斷路器。按操作性質可分為:電動機構，氣動機構，液壓機構，彈簧儲能機構，手動機構。

油斷路器。利用變壓器油作為滅弧介質，分多油和少油兩種類型。

六氟化硫斷路器。采用惰性氣體六氟化硫來滅弧，并利用它所具有的很高的絕緣性能來增強觸頭間的絕緣。

真空斷路器。觸頭密封在高真空的滅弧室內，利用真空的高絕緣性能來滅弧。

空氣斷路器。利用高速流動的壓縮空氣來滅弧。

固體產氣斷路器。利用固體產氣物質在電弧高溫作用下分解出來的氣體來滅弧。

磁吹斷路器。斷路時，利用本身流過的大電流產生的電磁力將電弧迅速拉長而吸人磁性滅弧室內冷卻熄滅。